EMS电镜耗材通过微孔可观察到碳颗粒的晶面间距,膜上形成的多晶金团簇,在这些团簇的边缘可分辨出晶格,此样品还可以通过标注镀金膜上孔内碳的沉积率来测定电镜的混染率。带有乳胶状颗粒的网状格栅,既可以利用格栅间距进行放大倍数校正,又可通过测量格栅上乳胶颗粒的大小来进行校正,特别适用于透射电镜更高放大倍数的校正。利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息。
扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息,对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。
而当放大率倍数较高的时候,复杂的波动作用会造成成像的亮度的不同,因此需要专业知识来对所得到的像进行分析。通过使用TEM不同的模式,可以通过物质的化学特性、晶体方向、电子结构、样品造成的电子相移以及通常的对电子吸收对样品成像。